一.技术指标:
1.1 分析元素范围:K-U
1.2 同时可分析多达5层镀层
1.3 分析厚度检出限高达0.005μm
1.4 定位精度:0.1mm
1.5 测量时间:5s-300s
1.6 计数率:0-8000cps
1.7 Z轴升降范围:0-140mm
1.8 X/Y平台可移动行程:50mm(W)×50mm(D)
二.工作环境要求:
2.1 环境温度要求:15℃-30℃
2.2 环境相对湿度:<70%
2.3 工作电源:交流220±5V
2.4 周围不能有强电磁干扰。
三.仪器验收
3.1 按合同清点全部仪器内容;
3.2 仪器的各项功能正常使用和各软件的运转正常;
3.3以说明书为准;
3.4 甲方需在收到仪器15日内,提供符合本合同*二条“工作环境要求”的仪器安装地点;协同乙方完成装机和培训并参与合同产品的验收。如甲方在收到仪器30日内,未向乙方提出书面异议而无法协同乙方完成装机培训,则视为合同标的已验收合格,甲方不得提出异议。
1.基体金属特性:
对于磁性方法,标准片的基体金属的磁性和表面粗糙度,应当与试件基体金属的磁性和表面粗糙度相似。对于涡流方法,标准片基体金属的电性质,应当与试件基体金属的电性质相似。
2.基体金属厚度:
检查基体金属厚度是否**过临界厚度,如果没有,可采用3.3中的某种方法进行校准。
3.边缘效应:
不应在紧靠试件的突变处,如边缘、洞和内转角等处进行测量。
4.曲率:
不应在试件的弯曲表面上测量。
5.读数次数:
通常由于仪器的每次读数并不完全相同,因此必须在每一测量面积内取几个读数。覆盖层厚度的局部差异,也要求在任一给定的面积内进行多次测量,表面粗造时更应如此。
6.表面清洁度:
测量前,应清除表面上的任何附着物质,如尘土、油脂及腐蚀产物等,但不要除去任何覆盖层物质。
镀层测厚仪应用领域:
MCA多道分析器:
输入电压:±12V,+5V
采样频率:100 KHZ
脉冲幅度:0-7.6V
A/D位数:12位
分析道数:2048道
准直器系统:
准直器:Ø0.1 mm(可根据要求选配)
滤光片:Mo(可根据要求选配)
高清晰摄像头:
传感器类型:CCD(彩色)
接口:USB2.0
传感器厂商:索尼
快门类型:面阵
光学尺寸:1/4英寸
有效像素:659(H)×494(V)
有效像素尺寸:3.69mm(H)×2.77mm(V)
像素尺寸:5.6μm(H)×5.6μmm(V):
感应度:0.58V(索尼标准)
颜色排列:RGB
帧率:30fps
快门速度:1/1538-1/30(秒)
自动对焦系统:
通用数字激光传感器、CMOS激光传感器
实现样品高度的自动对焦。
电镀镀层行业中,电镀镀层厚度是产品的zui重要质量指标, X射线镀层测厚仪是检测电镀层厚度*仪器。X射线镀层测厚仪作为一种测量镀层厚度的精密仪器,在整个电镀层厚度品质检测中占非常重要的地位。它在电镀层厚度控制,品质是否达到要求,镀层是否符合客户要求及成本控制方面,X射线镀层测厚仪均可完成。对于现代电镀加工来来说, 非接触式X射线测厚仪作为一种常用的精密测量仪器,以其高精度和可靠性广泛应用于电镀行业镀层检测中
X射线镀层测厚仪系统组成及工作原理
X射线测厚仪、X射光管、检测器、准直器、自动台面控制、雷射对焦系统、软件系统、计算机控制组成。
X射线由源中高压光管产生X射线(人工源,断电自动停止),X射线管有两个电极:作为阴极的用于发射电子的灯丝(钨丝)和作为阳极的用于接受电子轰击的靶(又称对阴极)。当灯丝通电被加热到高温时,大量的热电子产生,在较间的高压作用下被加速,高速轰击到靶面上,由于运动受阻,动能转化为辐射能,以X射线形式放出。
X射线可以由高压管中的准直器接受并经过前置放大器将X射线强度送到检测产品中。由于X射线穿透物质后的强度衰减与在物质中经过的距离成正比,所以在物质元素成分一定密度已知的情况下,可以通过接受的X射线强度来测出被测物质的厚度。
X射线的吸收关系式为:
IX=I0e-ux(1)
其中:IX为辐射强度;I0为X射线源发射的辐射强度;U为线衰减系数;X为测量材料厚度。
3.X射线测厚仪吸收曲线及合金补偿
根据X射线的吸收关系式, X射线镀层测厚仪即可利用已确定元素成分和密度的标准标样在计算机控制系统中建立标准吸收曲线。如图3所示,建立标准吸收曲线的标准标样必须具有完全相同的元素成分和密度,同时具有一系列的覆盖测厚仪工作范围的厚度。在标准吸收曲线建立后,检测同样元素成分和密度的内置基准标样,将该值作为检验校准测厚仪精度的基准保存在控制系统中。
在测厚仪下的测量偏差,红色曲线为补偿后的测量偏差。原始数据及补偿后数据如表1所示,经过补偿后,偏差在0.2%以内,满足产品测量精度要求。
4 X射线测厚仪的精度检验及厚度控制
X射线测厚仪作为在线测量厚度的精密仪器,为了保证其测量精度和可靠性,需要定期对其精度进行检验和校准。精度检验分为静态和动态两种。
静态检验是用已知厚度的试样放在测厚仪下进行测量,根据测量结果确定X射线测厚仪的状态。检验前,要确定试样状态完好,厚度均匀,没有变形和弯曲,测量位置以减少测量误差。测厚仪显示厚度平稳的一段产品,根据要求裁取一定数量规格的试样,
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