X射线镀层测厚仪已成为加工工业、表面工程质量检测的重要环节,是产品达到优等质量标准的必要手段。为使产品国际化,我国出口商品和涉外项目中,对镀层厚度有了明确要求。
X射线镀层测厚仪的测量方法主要有:楔切法,光截法,电解法,厚度差测量法,称重法,X射线荧光法, 射线反向散射法,电容法、磁性测量法及涡流测量法等等。这些方法中**种是有损检测,测量手段繁琐,速度慢,多适用于抽样检验。
X射线镀层测厚仪是将X射线照射在样品上,通过从样品上反射出来的*二次X射线的强度来。测量镀层等金属薄膜的厚度,因为没有接触到样品且照射在样品上的X射线只有45-75W左右,所以不会对样品造成损坏。同时,测量的也可以在10秒到几分钟内完成。
提供X-ray测厚仪的操作及方法,从而了解镀层(金、镍、锡、银)的厚度情况。
2.0 范围:
适用于本公司品质部物理实验室X-ray测厚仪。
3.0 X-ray测厚仪操作要求及规范
3.1测试环境:温度22±3℃,湿度60±15%。
3.2开机:打开测试主机、电脑、显示器,打印机电源。
3.3进入Windows XP系统,双击Xray图标,此时输入设定的密码。
3.4升压:待机器完成初始化(既工作台上下移动一周)后,待机30分钟,可进行下一步操作。
波谱校准: 每日必做,作用在于让仪器进行自我补偿调整。首先点击工具栏中系统调校图标 ,然后将系统调校准的标准片放入仪器移至十字线中间,对焦,测量(按START键)。待仪器自动完成步,第二步至zui后一步。此时对话框自动关闭,系统调校成功。若不成功,检查是否做错,重做一次也失败的话请致电仪器服务商。
设备保养
9.1日常保养:
9.1.1 操作人员每天对X-ray金属厚度测试仪清洁维护,每天测试前必须用系统校正片对仪器进行波谱校准, 校正成功后方可测板,并保留记录(《X-ray测厚仪波谱校准记录》频率:每天一次)。
9.1.2 实验室工作人员每月必须用校正片对已建档案进行校正,在用标准片校准档案时,注意不能触摸标准片测量点,防止其污染及破损,造成测量误差。校正合格后保留校准记录(《X-ray测厚仪校准记录》频率:每月一次)。
9.2 标准件校准期限:一年(注:如果在使用时,发现误差较大,使用标准片仍不能校准的情况下,可提前送外校正)。
一、硬件:主机壹台,含下列主要部件:
(1) X光管 (2) Si-PIN电制冷半导体探测器
(3) 信号检测电子电路 (4) 高精度二维移动平台
(5) 高清晰摄像头 (6) 高低压电源
(7) 开放式样品腔 (8)双激光定位装置
(9) 铅玻璃屏蔽罩
二、软件及其他:X射线荧光光谱仪FpThick分析软件V1.0
2.1 计算机、打印机各一台
计算机(品牌,液晶显示屏)、打印机(品牌,彩色喷墨打印机)
2.2 资料:器使用说明书(包括软件操作说明书和硬件使用说明书)、出厂检验合格证明、装箱单、保修单及其它应提供资料各一份。
2.3 标准附件
准直孔:Ф0.2mm,Ф0.3mm,Ф0.5mm,Ф1.0mm(可选其中一种)
(已内置于仪器中)
电镀镀层行业中,电镀镀层厚度是产品的zui重要质量指标, X射线镀层测厚仪是检测电镀层厚度*仪器。X射线镀层测厚仪作为一种测量镀层厚度的精密仪器,在整个电镀层厚度品质检测中占非常重要的地位。它在电镀层厚度控制,品质是否达到要求,镀层是否符合客户要求及成本控制方面,X射线镀层测厚仪均可完成。对于现代电镀加工来来说, 非接触式X射线测厚仪作为一种常用的精密测量仪器,以其高精度和可靠性广泛应用于电镀行业镀层检测中
X射线镀层测厚仪系统组成及工作原理
X射线测厚仪、X射光管、检测器、准直器、自动台面控制、雷射对焦系统、软件系统、计算机控制组成。
X射线由源中高压光管产生X射线(人工源,断电自动停止),X射线管有两个电极:作为阴极的用于发射电子的灯丝(钨丝)和作为阳极的用于接受电子轰击的靶(又称对阴极)。当灯丝通电被加热到高温时,大量的热电子产生,在较间的高压作用下被加速,高速轰击到靶面上,由于运动受阻,动能转化为辐射能,以X射线形式放出。
X射线可以由高压管中的准直器接受并经过前置放大器将X射线强度送到检测产品中。由于X射线穿透物质后的强度衰减与在物质中经过的距离成正比,所以在物质元素成分一定密度已知的情况下,可以通过接受的X射线强度来测出被测物质的厚度。
X射线的吸收关系式为:
IX=I0e-ux(1)
其中:IX为辐射强度;I0为X射线源发射的辐射强度;U为线衰减系数;X为测量材料厚度。
3.X射线测厚仪吸收曲线及合金补偿
根据X射线的吸收关系式, X射线镀层测厚仪即可利用已确定元素成分和密度的标准标样在计算机控制系统中建立标准吸收曲线。如图3所示,建立标准吸收曲线的标准标样必须具有完全相同的元素成分和密度,同时具有一系列的覆盖测厚仪工作范围的厚度。在标准吸收曲线建立后,检测同样元素成分和密度的内置基准标样,将该值作为检验校准测厚仪精度的基准保存在控制系统中。
在测厚仪下的测量偏差,红色曲线为补偿后的测量偏差。原始数据及补偿后数据如表1所示,经过补偿后,偏差在0.2%以内,满足产品测量精度要求。
4 X射线测厚仪的精度检验及厚度控制
X射线测厚仪作为在线测量厚度的精密仪器,为了保证其测量精度和可靠性,需要定期对其精度进行检验和校准。精度检验分为静态和动态两种。
静态检验是用已知厚度的试样放在测厚仪下进行测量,根据测量结果确定X射线测厚仪的状态。检验前,要确定试样状态完好,厚度均匀,没有变形和弯曲,测量位置以减少测量误差。测厚仪显示厚度平稳的一段产品,根据要求裁取一定数量规格的试样,
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